維修法如FARO激光掃描儀報錯掃描儀內部錯誤（包修好）

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噴油故障的常見表現與診斷
當ULVAC真空泵出現噴油現象時，通常伴隨以下癥狀：1. 排氣口可見明顯油霧或油滴2. 真空度無法達到設定標準3. 油位下降速度異常加快4. 運行噪音增大并伴有不規則異響

診斷時需首先排除油品質量問題（如粘度不符或油質劣化），建議使用原廠指定型號的真空泵油。通過觀察窗檢查油位應在標線范圍內，過高易導致噴油，過低則影響潤滑噴油故障的機械原因分析

1. **油封系統失效**：軸封或排氣閥密封件老化是噴油主因。當密封唇口磨損超過0.1mm或出現龜裂時，需立即更換。維修時應清潔密封槽，新密封件安裝前需涂抹專用潤滑脂。